石英管外部加電感線圈，射頻功率加載在線圈上，石英管兩端密封，抽真空，通過電感耦合方式，射頻功率會耦合到石英管內部，石英管真空度在10-60帕之間，射頻功率使石英管內部含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。

國內傳統射頻匹配器在應用此類設備的過程中，在管內氣壓或者氣體變化的時候，匹配器跟蹤會出現紊亂的情況，導致失配，從而使制程出現異常，我司射頻匹配器采用數字算法，無論氣壓或者氣體變化，總能夠及時跟蹤，實時進行匹配。目前我司的射頻電源和自動匹配器，已經廣泛應用于國內各大科研設備制造商。