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什么是射頻電源

射頻即Radio Frequency,通??s寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率,頻率范圍從300KHz~30GHz之間。RF射頻就是射頻電流,它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流,大于10000次的稱為高頻電流,而射頻就是這樣一種高頻電流。射頻電源是產生等離子體的配套電源,由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,應用于射頻濺射,PECVD 化學氣相沉積,等離子清洗,反應離子刻蝕等設備中。

 

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